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鋁摻雜的硅半導(dǎo)體中載流子含量的測定方法
信息來源：武漢格瑞斯新能源科技有限公司 發(fā)布時間：2018-04-14 14:47 瀏覽次數(shù)：次
    1.Mott-Schottky曲線法
      CS系列電化學(xué)工作站可用于半導(dǎo)體或鈍化膜Mott-Schottky圖的測試。通過在不同直流電位下分別疊加一固定幅值和固定頻率的交流擾動信號，測得不同直流電位下的阻抗值，并根據(jù)阻抗虛部來計算耗盡區(qū)電容Csc ,最后按公式（1或2）計算并繪制Mott-Schottky圖,并據(jù)此計算半導(dǎo)體或鈍化膜材料中的載流子濃度，確定材料半導(dǎo)體特征。
Mott-Schottky 公式：
      式中, Vfb為平帶電位(flat band potential), Nd和 Na分別是施主(donor)和受主(accepter)載流子濃度, ε為相對介電常數(shù), ε0為真空介電常數(shù), A 為電極表面積, k為Boltaman常數(shù), T為絕對溫度, e為電荷電量。
      Csc可根據(jù)公式（3）計算
(3)
      其中Z” 為阻抗虛部， f為正弦波頻率。
      阻抗-電位掃描介紹
      將電解池裝置連接到CS350電化學(xué)工作站上，從corrTest軟件中選擇“P阻抗-電位掃描”測試方法，并按圖1所示進行參數(shù)設(shè)置(僅供參考)：

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